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            常用的的真空腔體清洗溶劑包括含洗滌劑的水、石油分餾物、稀酸、堿、各金屬清洗劑等。根據表面附著物的不同，需要用不同的溶劑進行清洗。真空腔體如銹蝕物需要用酸性金屬清洗劑，礦物油脂需要用溶劑等。